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本发明触及太阳能电池片生产领域。一种太阳能电池分散后退火工艺,正常温度推动,将石英炉管升温至840℃,以7slm/min的流量通入氮气,以2.5slm/min的流量通入氧气,不通入其它气体,推动7‑9min;降温到810℃一起进行推动和退火,以5℃/min速率降至810℃,以7slm/min的流量通入氮气,不通入其它气体,坚持推动和退火5‑7min;将温度降至750℃‑800℃进行变温退火,以2℃/min降温至780℃,一起坚持以7slm/min的流量通入氮气,不通入其它气体,然后保温15‑25min。
2024-February-04
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