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本发明公开了一种太阳能电池的降温退火工艺,它包括以下过程:(1).分散进舟;(2).氧化;(3).低温状况分散通源;(4).高温状况分散推结;(5).硅片出炉降温,安稳炉管温度;(6).二次进炉低温退火;(7).分散出舟。本发明减小分散“死层”,削减高温反响导致的热缺点,然后进步太阳能电池的转化功率;对开路电压进步尤为显着,高出传统工艺2mV以上,且填充因子也有进步,然后电池片的转化功率显着进步;削减了分散后硅片外表的PN结“死层”厚度,削减高温分散带来的晶格损害,进步少子寿数。
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2024-February-04
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